應用

AST聚昌科技PEVA系列高階*密電子束蒸鍍系統(tǒng)乃是針對Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導電膜(ITO)與光學膜( SiO2/TiO2)所設計的批式量產設備，擁有獨特的蒸鍍反應室設計，可以提供更高的產能，與更為精準、更可靠的製程需求。

?

特點

AST聚昌科技Peva-900E/I系統(tǒng)的特點包括

(1) *佳化鍍鍋與坩鍋設計因應 Lift-Off 與低溫製程需求

(2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產品良率

(3) *佳化蒸鍍腔及排氣系統(tǒng)設計，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%）

(4) 高通用與拆換便利性設計(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應用不受限

(5) 特殊設計的夾治具，針對薄片製程（微米），可靠度極佳

(6) *精簡地板空間，可有效提高無塵室使用空間

(7) 全自動化、智慧型PC操控系統(tǒng)，提高全廠自動化之需求。

?

沉積室泵送系統(tǒng)和真空測量：

1臺CTI Torr-400，低溫泵（水為16000升/秒），16“ID ASA翻邊。

1臺CTI 9600，液氦低溫水冷壓縮機（10'He管線）

低溫泵自動*生功能。

1 AST，高真空閥3位，帶可調節(jié)流閥位置（3個位置），ASA 16“-（19”x 15“）法蘭，氣動執(zhí)行機構打開/關閉。

1臺Leybold WA251和D60C，1臺羅茨泵和1臺兩級旋轉葉片泵（5000升/分鐘），ISO 63進口法蘭。

1個粗加工閥，ISO 63，波紋管密封，通過氣動執(zhí)行機構打開/關閉。

1個通風閥，KF 25，波紋管密封隔離。

1個防湍流閥，直徑1/4“，用于延遲通風。

1個前線閥，KF 40，波紋管密封，通過氣動執(zhí)行機構打開/關閉。

壓縮空氣分配。

1 GP 307，真空計控制器。（atm~5.0E-10托）

1 GP 274，離子測量頭（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。

2個GP 275，帶鎢絲的Pirani頭。（atm~5.0E-04托）

?

基板臺配件：

基板載體旋轉驅動器

1個適配器法蘭，ASA 10“直徑至5”直徑孔，用于PevaAST系統(tǒng)。

1個法蘭，ASA 3“直徑，用于連接層厚測量系統(tǒng)。

1個間接驅動齒輪馬達通過高性能的旋轉運動鐵流體饋通。

單基板載體轉速05~20rpm。

?

基底載體

1個帶形狀的升降式穹頂

預加工，可接受總共140件2“晶圓

?

工藝源配件

Telemark，電子束蒸發(fā)器，10 kW 270型

偏轉270o的光源。

角齒輪傳動基板通過坩堝指數(shù)。

水冷饋通。

X和Y掃描信號饋通。

旋轉坩堝，帶6個40毫升的凹槽。

坩堝控制裝置。

驅動電機。

遠程控制：

高壓電源裝置10 kW，帶可變高壓和光束定位控制。

?

快門驅動：

氣動百葉窗驅動器90o（安裝在氣缸上的空氣流量控制）

?

過程控制器/層厚測量：

Maxtek MDC-360C，層厚、速率和工藝

?

控制單元：

帶有RS-232接口的過程控制。

9組材料參數(shù)的存儲空間，以及99個工藝序列和999個工藝步驟。

從材料和工藝參數(shù)開始的100個順序步驟的順序程序。

一個過程*多可重復99次。

帶6MHz振蕩器的石英傳感器。

帶冷卻水管和信號電纜。

主營行業(yè)：儀器儀表玻璃//光學玻璃儀器儀表玻璃//儀表玻璃 公司注冊地址：東莞市茶山鎮(zhèn)茶山村茶南路15號 法人代表：李由根
員工人數(shù)：50-100人 廠房面積：8000 年營業(yè)額：人民幣1000萬元/年-人民幣2000萬元/年
年進口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 年出口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 主要市場：大陸,港澳臺地區(qū),全球,
客戶群：富士康 華維
公司名稱:東莞市宏誠光學制品有限公司
注冊資本:人民幣200萬元/年-人民幣500萬元/年 公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn

主營產品：二次元影像測量儀,工業(yè)變倍鏡頭,標定板,分辨率板,校準玻璃線紋尺,玻璃菲林尺子,面補,分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學玻璃工作臺,投影屏,Z軸測試儀 公司成立年份：2010
公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn

產品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：10 最小起訂量：1 產品單價：45000.00 品牌： 規(guī)格型號： 包裝說明：

光學透明材料具有質量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發(fā)展，以及未來電子電磁對抗，實現(xiàn)電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現(xiàn)隱身功能，以適應未來的戰(zhàn)爭環(huán)境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現(xiàn)航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規(guī)的真空磁控濺射工藝難以實現(xiàn)，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點。